飛秒微加工系統(tǒng)包括免維護(hù)工業(yè)級別fs激光器系統(tǒng)和高穩(wěn)定性模塊化設(shè)計(jì)激光加工模組，系統(tǒng)采用的花崗石龍門支架結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)可以保證系統(tǒng)優(yōu)良的加工穩(wěn)定性。系統(tǒng)配置快速移動(dòng)、nm運(yùn)動(dòng)精度和高達(dá)600mm行程范圍的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，使得系統(tǒng)在大幅面超精細(xì)處理領(lǐng)域有著非凡的能力。另外根據(jù)客戶不同加工需求，可選擇掃描振鏡、長工作距離顯微物鏡或者螺旋鉆孔系統(tǒng)以及真空環(huán)境樣品室等，在超快激光刻蝕、表面處理和表面3D雕刻、觸摸屏和ITO切割以及金屬、合金、半導(dǎo)體、陶瓷等多種材料的鉆孔和切割等領(lǐng)域都有著十分出色的應(yīng)用。
飛秒微加工系統(tǒng)可以滿足高精度三維結(jié)構(gòu)制備、多材料微納結(jié)構(gòu)加工以及器件成型與集成的加工需求，因此，在各類微納結(jié)構(gòu)化功能部件的研制中展現(xiàn)出了很大的技術(shù)優(yōu)勢。目前，飛秒激光已經(jīng)廣泛應(yīng)用于多個(gè)前沿科學(xué)領(lǐng)域。
利用飛秒微加工系統(tǒng)可以制備各種微光學(xué)器件，如微透鏡陣列、仿生復(fù)眼、光波導(dǎo)和超表面等。吉林大學(xué)研究團(tuán)隊(duì)利用雙光子聚合技術(shù)制備了一種基于仿生蛋白質(zhì)的微透鏡，該透鏡在外界刺激下可動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)焦距，同時(shí)具有伸縮性、良好的生物相容性和生物可降解性；進(jìn)一步該團(tuán)隊(duì)利用激光加工技術(shù)制備了可變焦的仿生復(fù)眼，實(shí)現(xiàn)了大視場變焦成像的功能，如圖1所示。利用其高精度、高分辨率和三維加工能力，飛秒激光加工技術(shù)成為制備三維微流控芯片的強(qiáng)大工具。目前，微流體器件的制備材料體系十分多樣化，最常見的制備材料為玻璃和聚合物材料（PDMS、PMMA等），隨著微流控芯片應(yīng)用環(huán)境的復(fù)雜化和多樣化，一些具有*機(jī)械性能的材料，如藍(lán)寶石和金剛石也已被研究者們開發(fā)并用于微流體器件的制備中，以應(yīng)對一些特殊的需求，如高壓高溫環(huán)境等。
